ELECTROCHEMICAL CELL 電気化学セル
ELECTROCHEMICAL CELL
QCMセル VQ
水晶振動子について
- SEIKO EG&G社のQAシリーズ水晶振動子は、電気化学水晶振動子計測システム(EQCM)で使用する水晶振動子センサーです。
- 標準的な Au や Pt に加え、Ag・Al・Cu・Ni・Si・SUS304・Ti などの金属材料とITO透明電極・SiO2製膜電極を標準品として用意しています。
- 数量は10個・25個・50個単位（エッチング仕上及びポリッシュ仕上は20個・50個・100個単位）で提供しております。数量が多いほどお求めやすくなっております。
電極表面仕上げ
| 標準仕上（エッチング仕上） | 表面に微小な凹凸があり、鏡面仕上より表面積が大きいため、高分子材料などの製膜や吸着量をより多く検出する測定用途に適しています。（仕上げ値 0.6 μm） |
| 鏡面仕上（ポリッシュ仕上） | 表面が平滑なため、測定後の表面観察などの測定用途に適しています。（仕上げ値 0.06 μm） |
電極形状について
| 一体型 | 水晶片とリードが銀ペーストで固定され、缶が仮固定した形状でお届けします。 仮固定の缶を外すだけで測定に使用できます。 |
| 分離型 | 水晶片は個別に包装され、水晶片と同数のリードが同梱されています。 測定するために水晶片をピンセット等でリードに挟み込む必要はありますが、測定前の電極表面の洗浄や修飾、測定前後の表面観察などが必要な測定用途に適しています。 |
モデル名
水晶振動子のモデル名は、共振周波数nと電極材料Xを含むQA-AnM-Xを基本として、その後に表面仕上げと形状を示す文字列が続きます。
（ただし、標準仕様な表面仕上げの”標準仕上”と形状の”一体型”の文字列は省略されます。）
| 共振周波数 n | 9 MHz：”9” |
| 電極材料 X | Au=”AU”、Pt=”PT”、SiO2=”SIO2” など |
| 表面仕上 | 鏡面仕上：”(M)”、エッチング仕上：”(E)”、ポリッシュ仕上：”(P)” |
| 形状 | 分離型：”(SEP)” |
＜例＞ ”9 MHz・Au・鏡面仕上・分離型” の場合 → QA-A9M-AU(M)(SEP)
仕様
| 項 目 | 仕 様 |
| 共振周波数 | 9 MHz |
| カットタイプ | ATカット |
| 電極材料 | Au・Pt・Ag・Al・Cu・ITO・Ni・Si・SiO2・SUS304・Ti 他 |
| 電極厚さ | 下地 Ti 約100 nmの上に、電極材料約300 nmをスパッタにより製膜(※) |
| 電極直径 | 5 mmΦ |
| 形状 | 角型7.9×7.9 mm(49U)の一体型 / 分離型 |
| 水晶片仕上げ | 標準仕上・エッチング仕上：4000番研磨仕上， 鏡面仕上・ポリッシュ仕上：鏡面研磨仕上 |
| 使用環境温度 | -20 ℃～70 ℃（ただし、測定時はQCM装置の使用環境温度に依存） |
※ 電極材料ITOでは、透明電極で使用するため下地 Ti を導入していません。電極材料SiO2についてはお問い合わせ下さい。
エッチング仕上及びポリッシュ仕上の電極材料Auは、下地 Ti 約14 nmの上に、Au 約335 nmを蒸着により製膜しています。
角型水晶振動子
スパッタリング成膜，標準仕上，一体型
| 型 式 | 仕 様 | 数 量 |
|---|---|---|
| QA-A9M-AU | 9 MHz・ATカット・角型・Au・49U | 50個 25個 10個 |
|
QA-A9M-AL QA-A9M-NI QA-A9M-PT QA-A9M-SUS304 QA-A9M-SUS316L QA-A9M-TI |
9 MHz・ATカット・角型・Al・49U 9 MHz・ATカット・角型・Ni・49U 9 MHz・ATカット・角型・Pt・49U 9 MHz・ATカット・角型・SUS304・49U 9 MHz・ATカット・角型・SUS316L・49U 9 MHz・ATカット・角型・Ti・49U |
50個 25個 10個 |
|
QA-A9M-AG ※受注生産 QA-A9M-CU |
9 MHz・ATカット・角型・Ag・49U 9 MHz・ATカット・角型・Cu・49U |
50個 25個 10個 |
| QA-A9M-SIO2-S | 9 MHz・ATカット・角型・SiO2・49U | 50個 25個 10個 |
スパッタリング成膜，標準仕上，分離型（QA-A9M-LEAD付属）
| 型 式 | 仕 様 | 数 量 |
|---|---|---|
| QA-A9M-AU(SEP) | 9 MHz・ATカット・角型・Au・分離型・49U | 50個 25個 10個 |
|
QA-A9M-AL(SEP) QA-A9M-NI(SEP) QA-A9M-PT(SEP) QA-A9M-SUS304(SEP) QA-A9M-SUS316L(SEP) ※受注生産 QA-A9M-TI(SEP) |
9 MHz・ATカット・角型・Al・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Ni・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Pt・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・SUS304・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・SUS316L・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Ti・分離型・49U |
50個 25個 10個 |
|
QA-A9M-AG(SEP) ※受注生産 QA-A9M-CU(SEP) |
9 MHz・ATカット・角型・Ag・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Cu・分離型・49U |
50個 25個 10個 |
| QA-A9M-SIO2-S(SEP) | 9 MHz・ATカット・角型・SiO2・分離型・49U | 50個 25個 10個 |
スパッタリング成膜，鏡面仕上，一体型
| 型 式 | 仕 様 | 数 量 |
|---|---|---|
| QA-A9M-AU(M) | 9 MHz・ATカット・角型・Au・鏡面・49U | 50個 25個 10個 |
|
QA-A9M-AL(M) QA-A9M-NI(M) QA-A9M-PT(M) QA-A9M-SI(M) QA-A9M-SUS304(M) QA-A9M-SUS316L(M) QA-A9M-TI(M) |
9 MHz・ATカット・角型・Al・鏡面・49U 9 MHz・ATカット・角型・Ni・鏡面・49U 9 MHz・ATカット・角型・Pt・鏡面・49U 9 MHz・ATカット・角型・Si・鏡面・49U 9 MHz・ATカット・角型・SUS304・鏡面・49U 9 MHz・ATカット・角型・SUS316L・鏡面・49U 9 MHz・ATカット・角型・Ti・鏡面・49U |
50個 25個 10個 |
|
QA-A9M-AG(M) QA-A9M-CU(M) |
9 MHz・ATカット・角型・Ag・鏡面・49U 9 MHz・ATカット・角型・Cu・鏡面・49U |
50個 25個 10個 |
| QA-A9M-ITO(M) | 9 MHz・ATカット・角型・ITO・鏡面・49U | 50個 25個 10個 |
| QA-A9M-SIO2-S(M) | 9 MHz・ATカット・角型・SiO2・鏡面・49U | 50個 25個 10個 |
スパッタリング成膜，鏡面仕上，分離型（QA-A9M-LEAD付属）
| 型 式 | 仕 様 | 数 量 |
|---|---|---|
| QA-A9M-AU(M)(SEP) | 9 MHz・ATカット・角型・Au・鏡面・分離型・49U | 50個 25個 10個 |
|
QA-A9M-AL(M)(SEP) QA-A9M-NI(M)(SEP) QA-A9M-PT(M)(SEP) QA-A9M-SI(M)(SEP) QA-A9M-SUS304(M)(SEP) QA-A9M-SUS316L(M)(SEP) QA-A9M-TI(M)(SEP) |
9 MHz・ATカット・角型・Al・鏡面・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Ni・鏡面・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Pt・鏡面・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Si・鏡面・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・SUS304・鏡面・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・SUS316L・鏡面・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Ti・鏡面・分離型・49U |
50個 25個 10個 |
|
QA-A9M-AG(M)(SEP) QA-A9M-CU(M)(SEP) |
9 MHz・ATカット・角型・Ag・鏡面・分離型・49U 9 MHz・ATカット・角型・Cu・鏡面・分離型・49U |
50個 25個 10個 |
| QA-A9M-ITO(M)(SEP) | 9 MHz・ATカット・角型・ITO・鏡面・分離型・49U | 50個 25個 10個 |
| QA-A9M-SIO2-S(M)(SEP) | 9 MHz・ATカット・角型・SiO2・鏡面・分離型・49U | 50個 25個 10個 |
※ 角型水晶振動子をご注文時は、数量を型式の後に－＊＊とご指定下さい。
＜例＞”9 MHz・Au・鏡面仕上・分離型・50個” の場合 → QA-A9M-AU(M)(SEP)-50